設備案内

株式会社 ミツトヨ


駆動方式
XY軸 マニュアル
Z軸 電動、オートフォーカス付き
光学倍率
ズーム0.5×-3.5×(8段階)
測定範囲(X×Y×Z)
400×200×150mm
最小表示量/測長ユニット
0.1µm/リニアエンコーダ
カメラ
カラーCCD(1/3形)
測定精度
E1XY軸 (2.5+20L/1000)µm
E1Z軸 (5.0+6L/1000)µm

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