設備案内

株式会社キーエンス


カメラ撮像素子
400万画素 CMOSイメージセンサ
カメラ受光中心波長
近赤外光
測定範囲
300mm×250mm×150mm
最小表示単位距離
1µm
最小表示単位角度
0.0001度
繰り返し測定精度
ステージロック時:±3µm
測定精度
指示誤差
ステージロック時:±8µm*1
内蔵ディスプレイ
15型 LCDモニター(XGA:1024×768)
使用周囲温度
+10 ~ 35℃
使用周囲湿度
20 ~ 80%RH(結露なきこと)

*1 JIS B7440-2参考、200×200×150mmの範囲内、使用周囲温度23℃±1℃のとき

コメント