設備案内

株式会社キーエンス


種類 (IM-7020)
ヘッド 透過照明
可変照明ユニット・ライトプローブ
ユニット搭載モデル
撮像素子
1型 660万画素 モノクロCMOS
ディスプレイ
10.4型 LCDモニタ(XGA:1024×768)
画像測定
視野
広視野測定モード 200×200mm(4角R50)
最小表示単位 0.1µm
繰り返し精度
ステージ移動なし 広視野測定モード:±1µm
高精度測定モード:±0.5µm
ステージ移動あり 広視野測定モード:±2µm
高精度測定モード:±1.5µm
測定精度 ±2σ
連結なし 広視野測定モード:±5µm*1
高精度測定モード:±2µm*2
連結あり 広視野測定モード:±(7+0.02L)µm*3
高精度測定モード:±(4+0.02L)µm*4
ライトプローブ測定
測定可能領域(XY) 90×90mm
最大測定深さ 30mm
ライトプローブ直径 ø3mm
測定力 0.015N
繰り返し精度 ±2µm*5
測定精度 ±(8+0.02L)µm*6
照明系
透過 テレセントリック透過照明
落射 4分割マルチアングル照明(電動)
スリットリング(指向性)照明(電動)
XYステージ 移動範囲:100×100mm(電動)
Zステージ 移動範囲:75mm(電動)
耐環境性 使用周囲温度: +10~35℃
使用周囲湿度: 20~80% RH(結露なきこと)

*1 ø80mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*2 ø20mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
*3 180×180mm(4角R40)の範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*4 120×120mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき Lはステージ移動量(mm)
*5 検出方法が標準のとき、検出方法が深い位置用のときは±3µm
*6 検出方法が標準、使用周囲温度23℃±1℃、ステージ積載重量2kg以下のとき、検出方法が深い位置用のときは±(10+0.02L)µm Lは測定長(mm)

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