株式会社キーエンス
カメラ撮像素子 |
400万画素 CMOSイメージセンサ |
|---|---|
カメラ受光中心波長 |
近赤外光 |
測定範囲 |
600mm×300mm×200mm |
最小表示単位距離 |
1µm |
最小表示単位角度 |
0.0001度 |
繰り返し測定精度 |
ステージロック時：±3µm |
測定精度指示誤差 |
ステージロック時：±8µm*1 |
内蔵ディスプレイ |
15型 LCDモニター(XGA：1024×768) |
使用周囲温度 |
+10 ～ 35℃ |
使用周囲湿度 |
20 ～ 80%RH(結露なきこと) |
*1 ø80mmの範囲、合焦点位置にて使用周囲温度+23±1℃のとき
